可授權專利


晶圓盒微汙染測量系統及其運作方法 System and Method for Micro Contamination Measurement of FOUP 


專利名稱 晶圓盒微汙染測量系統
專利國家
   專利證書號
中華民國 M561322
專利權人 國立台北科技大學
發明人 胡石政、林迪
應用領域
需求項目









技術摘要


本創作揭露一種晶圓盒微汙染測量系統,包括:一承載座、一晶圓傳送盒、一支撐件、一移動裝置、一光學發射裝置以及一光學測量裝置;其中該晶圓傳送盒及該支撐件設置於該承載座上,該移動裝置可移動地設置於該支撐件上;該光學發射裝置及該光學測量裝置設置於該移動裝置上。本創作更揭露一種晶圓盒微汙染測量方法,係透過移動裝置將光學發射裝置及光學測量裝置移動至晶圓傳送盒左右兩側至少一開孔之位置;光學發射裝置發射光束進入晶圓傳送盒;光學測量裝置接收貫穿晶圓傳送盒的光束;以及光學測量裝置依據接收到的光束進行光譜量測。


專利商品特色


本創作係關於一種晶圓盒微汙染測量系統,尤指一種使用光學方式,在晶圓傳送盒外進行盒內微汙染量測的晶圓盒微汙染測量系統。


聯繫方式


聯絡人:專利技轉組
電 話:(02)2771-2171
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