可授權專利


一種即時共焦顯微三微型貌量測裝置與方法 


專利名稱 共焦顯微形貌量測方法與裝置
專利國家
   專利證書號
中華民國 I357973
專利權人 國立台北科技大學
發明人 陳亮嘉、張奕威
應用領域
需求項目









技術摘要


本發明提供一種共焦顯微形貌量測方法與裝置,其係藉由分光模組與控制不同厚度之折射元件,使影像擷取裝置擷取關於一待測物之複數組分別具有不同聚焦位置之影像。接著取得每一組影像中之子影像所具有之聚焦指標值,再利用曲線擬合之技術,擬合出對應每一組影像之聚焦反應曲線。最後再根據該聚焦反映曲線求得其峰值,以得到該待測物之形貌特徵。利用本發明之方法與裝置可以精確且快速完成全域式三維輪廓量測。


專利商品特色




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